Un cilindro burbujeador es un componente de una unidad para la deposición química en fase de vapor de compuestos organometálicos (MOCVD). Son dispositivos que se utilizan para transportar compuestos organometálicos de grado electrónico desde un precursor líquido o sólido a un vapor utilizable .
El recipiente de los burbujeadores es similar a la construcción de una botella de lavado de gases y se utiliza para el almacenamiento protegido de compuestos organometálicos para excluir el aire ( oxígeno , humedad ). El burbujeador tiene un tubo de suministro y un tubo de muestreo. El tubo de entrada termina justo antes del fondo del tubo. En este tubo, se introduce un gas inerte, que burbujea a través del producto químico líquido; un producto químico sólido se sublima . La mezcla del gas inerte controlado y el producto químico vaporizado sale del cilindro hacia un recipiente de reacción aguas abajo. La temperatura se controla mediante un termostato, de modo que se puede lograr una presión de vapor definida y constante. El suministro del producto químico, a menudo costoso y sensible, se controla mediante el flujo regulado de gas inerte y la temperatura del burbujeador, lo que da como resultado una presión de vapor determinada del producto químico.
El tubo entre el burbujeador y el reactor debe tener una temperatura más alta que la burbuja, de lo contrario el precursor se condensaría en el tubo y, por lo tanto, pasarían gotitas incontroladas al recipiente de reacción. Si esto sucede con un precursor sólido, podría obstruir la línea.
Por ejemplo, durante la producción de diodos emisores de luz de alto brillo , el galio u otros elementos del grupo III-V se depositan epitaxialmente sobre un sustrato de silicio monocristalino . El galio se introduce en la cámara del reactor MOVPE a través de un vapor. Este vapor se genera burbujeando un gas portador inerte (como nitrógeno o argón ) a través de un cilindro con un tubo de inmersión a través de un precursor metalorgánico, como trimetilgalio . El gas portador inerte y el vapor metalorgánico se introducen luego en la cámara del reactor MOVPE (o MOCVD) durante la producción de LED de alto brillo.